บรรจุภัณฑ์สูญญากาศ Gr2 Titanium Sputtering Target 78.99OD*45

วัสดุเป้าหมายไทเทเนียมไทเทเนียม Gr2 78.99OD * 45 วัสดุสปัตเตอร์บรรจุภัณฑ์สูญญากาศ

ความบริสุทธิ์เป็นหนึ่งในดัชนีประสิทธิภาพหลักของวัสดุเป้าหมาย เนื่องจากความบริสุทธิ์ของวัสดุเป้าหมายมีอิทธิพลอย่างมากต่อคุณสมบัติของฟิล์ม อย่างไรก็ตาม ในการใช้งานจริง ข้อกำหนดด้านความบริสุทธิ์ของวัสดุเป้าหมายก็แตกต่างกันเช่นกัน สิ่งเจือปนในวัสดุที่เป็นของแข็งและออกซิเจนและไอน้ำในรูพรุนเป็นสาเหตุหลักของการสะสมของฟิล์ม เพื่อลดความพรุนในของแข็งของวัสดุเป้าหมายและปรับปรุงคุณสมบัติของฟิล์มที่สปัตเตอร์ วัสดุเป้าหมายมักจะต้องมีความหนาแน่นสูงขึ้น ความหนาแน่นของวัสดุเป้าหมายไม่เพียงส่งผลต่ออัตราการสปัตเตอร์เท่านั้น แต่ยังส่งผลต่อคุณสมบัติทางไฟฟ้าและทางแสงของฟิล์มด้วย ยิ่งวัสดุเป้าหมายมีความหนาแน่นสูงเท่าใด ประสิทธิภาพของฟิล์มก็จะยิ่งดีขึ้นเท่านั้น นอกจากนี้ยังสามารถปรับปรุงความหนาแน่นและความแข็งแรงของวัสดุเป้าหมายเพื่อให้วัสดุเป้าหมายสามารถทนต่อความเครียดจากความร้อนในกระบวนการสปัตเตอร์ได้ดียิ่งขึ้น ความหนาแน่นยังเป็นหนึ่งในดัชนีประสิทธิภาพหลักของวัสดุเป้าหมาย