เป้าหมายท่อเหล็กสแตนเลส ODM OD150*ID123*1091mm

เป้าหมายท่อเหล็กสแตนเลส OD150*ID123*1091mm Stainless Steel 304

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มีคำ วัสดุเป้าหมาย วัสดุเซมิคอนดักเตอร์สามารถแบ่งออกเป็นวัสดุเวเฟอร์และวัสดุบรรจุภัณฑ์ วัสดุบรรจุภัณฑ์มีอุปสรรคทางเทคนิคค่อนข้างต่ำเมื่อเทียบกับวัสดุการผลิตแผ่นเวเฟอร์ วัสดุเซมิคอนดักเตอร์และสารเคมีที่เกี่ยวข้องในการผลิตมีเจ็ดชนิด เวเฟอร์ซึ่งหนึ่งในนั้นคือวัสดุเป้าหมายสปัตเตอร์วัสดุเป้าหมายเป็นวัสดุเป้าหมายที่ถูกทิ้งระเบิดด้วยอนุภาคที่มีประจุไฟฟ้าความเร็วสูงโดยการเปลี่ยนวัสดุเป้าหมายที่แตกต่างกัน (เช่น อลูมิเนียม ทองแดง สแตนเลส ไททาเนียม นิกเกิลเป้าหมาย ฯลฯ) สามารถสร้างระบบฟิล์มต่างๆ (เช่น ฟิล์มอัลลอยด์แข็งพิเศษ ทนต่อการสึกหรอ ป้องกันการกัดกร่อน ฯลฯ) ได้

ความบริสุทธิ์เป็นหนึ่งในดัชนีประสิทธิภาพหลักของวัสดุเป้าหมาย เนื่องจากความบริสุทธิ์ของวัสดุเป้าหมายมีอิทธิพลอย่างมากต่อคุณสมบัติของฟิล์ม อย่างไรก็ตาม ในการใช้งานจริง ข้อกำหนดด้านความบริสุทธิ์ของวัสดุเป้าหมายก็แตกต่างกันเช่นกัน สิ่งเจือปน ในวัสดุที่เป็นของแข็งและออกซิเจนและไอน้ำในรูพรุนเป็นแหล่งหลักของการสะสมของฟิล์ม เพื่อลดความพรุนในของแข็งของวัสดุเป้าหมายและปรับปรุงคุณสมบัติของฟิล์มที่สปัตเตอร์ วัสดุเป้าหมายมักจะต้อง มีความหนาแน่นสูงขึ้น ความหนาแน่นของวัสดุเป้าหมายไม่เพียงส่งผลต่ออัตราการสปัตเตอร์เท่านั้น แต่ยังส่งผลต่อคุณสมบัติทางไฟฟ้าและทางแสงของฟิล์มด้วย ยิ่งความหนาแน่นของวัสดุเป้าหมายสูงเท่าใด ประสิทธิภาพของฟิล์มก็จะยิ่งดีขึ้นเท่านั้น นอกจากนี้ ความหนาแน่นและความแข็งแรง สามารถปรับปรุงวัสดุเป้าหมายเพื่อให้วัสดุเป้าหมายสามารถทนต่อความเครียดจากความร้อนในกระบวนการสปัตเตอร์ได้ดีขึ้น ความหนาแน่นเป็นหนึ่งในดัชนีประสิทธิภาพหลักของวัสดุเป้าหมาย