ภายใน Dia 123mm Stainless Steel กำหนดเป้าหมายความหนาแน่นสูง

OD150*ID123*1091 สแตนเลส 304 เป้าหมายท่อเหล็กสแตนเลส

วัสดุเป้าหมายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์วัสดุเซมิคอนดักเตอร์สามารถแบ่งออกเป็นวัสดุเวเฟอร์และวัสดุบรรจุภัณฑ์วัสดุบรรจุภัณฑ์มีอุปสรรคทางเทคนิคต่ำกว่าเมื่อเปรียบเทียบกับวัสดุการผลิตแผ่นเวเฟอร์ วัสดุเซมิคอนดักเตอร์และสารเคมีที่เกี่ยวข้องกับการผลิตแผ่นเวเฟอร์มีเจ็ดประเภท ซึ่งหนึ่งในนั้นคือการสปัตเตอร์วัสดุเป้าหมาย วัสดุเป้าหมายคือสิ่งที่ถูกทิ้งระเบิดด้วยอนุภาคที่มีประจุความเร็วสูง โดยการเปลี่ยนวัสดุเป้าหมายที่แตกต่างกัน (เช่น อลูมิเนียม ทองแดง สแตนเลส ไททาเนียม เป้าหมายนิกเกิล ฯลฯ) สามารถสร้างระบบฟิล์มที่แตกต่างกัน (เช่น ฟิล์มโลหะผสมที่ทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน ฯลฯ) ได้

ความบริสุทธิ์เป็นหนึ่งในดัชนีประสิทธิภาพหลักของวัสดุเป้าหมาย เนื่องจากความบริสุทธิ์ของวัสดุเป้าหมายมีอิทธิพลอย่างมากต่อประสิทธิภาพของภาพยนตร์ แต่ในทางปฏิบัติ ข้อกำหนดด้านความบริสุทธิ์ของวัสดุเป้าหมายก็แตกต่างกันเช่นกัน สิ่งเจือปนในวัสดุที่เป็นของแข็งและออกซิเจนและไอน้ำในรูพรุนเป็นสาเหตุหลักของการสะสมของฟิล์ม เพื่อลดความพรุนของวัสดุเป้าหมายที่เป็นของแข็งและปรับปรุงประสิทธิภาพของฟิล์มสปัตเตอร์ วัสดุเป้าหมายมักจะต้องมีความหนาแน่นสูง ความหนาแน่นยังเป็นหนึ่งในดัชนีประสิทธิภาพหลักของวัสดุเป้าหมายอีกด้วย ความหนาแน่นของวัสดุเป้าหมายไม่เพียงส่งผลต่ออัตราการสปัตเตอร์เท่านั้น แต่ยังส่งผลต่อคุณสมบัติทางไฟฟ้าและทางแสงของฟิล์มบางด้วย ยิ่งเป้าหมายมีความหนาแน่นสูง ประสิทธิภาพการขึ้นรูปฟิล์มก็จะยิ่งดีขึ้น นอกจากนี้ ความหนาแน่นและความแข็งแรงของวัสดุเป้าหมายสามารถปรับปรุงได้ด้วยการทำให้วัสดุเป้าหมายทนต่อความเครียดจากความร้อนได้ดีขึ้นในระหว่างการสปัตเตอร์